〔2号機〕　CR度：10000以下

繰出し側600Ф ×1200L

巻取り側（20巾）×400 Ф （20面可能）

〔3号機〕CR度：10000以下

繰り出側750 Ф ×1450L

巻取り側500 Ф ×−−　

〔7号機〕大型スリット機　CR度：8000以下

繰り出側1000 Ф ×1500L　

巻取り側750 Ф ×−−

〔8号機〕CR度：30000以下

繰り出側750 Ф ×1450L　

巻取り側：500 Ф ×−−

〔21号機〕CR度：1000以下（完全クリーンルーム）

繰り出側：800 Ф ×1500L　

巻取り側：500 Ф ×−−　

クリーンルーム入口